「電子不足」は「電子」と「不足」の組み合わせから来ている。「電子」は負の電荷を持つ亜原子粒子で、「不足」は欠乏または不足を意味する。

「電子」はギリシャ語の「ēlektron」（琥珀）から来ており、「不足」は古英語の「pōr」（欠乏または不足）から来ている。

元々「不足」は富の欠乏を意味していたが、この文脈では電子の欠乏を意味するように進化した。