「エクソシズム」はギリシャ語の「exorkizein」に由来し、「ex-」は「外へ」、「horkos」は「誓い」を意味しました。

「exorkizein」はラテン語の「exorcizare」に変わり、最終的に古フランス語の「exorciser」を経て現代英語の「exorcise」になりました。

最初は「誓いで縛る」という意味でしたが、時間とともに「悪霊を追い払う」という現在の意味に進化しました。