「イオン化する」はギリシャ語の「ion」から来ており、「行く」という意味。

「イオン」はギリシャ語の「ion」から英語に取り入れられ、「イオン化する」は19世紀にイオンを形成する過程を表すために作られた。

最初は「イオンを形成する」という意味で、現代でもその意味は変わっていない。