「酸素不足」は「酸素」と「不足」の組み合わせに由来し、「酸素」はギリシャ語の「oxys」（鋭い、酸）と「genes」（生産者）から、「不足」はラテン語の「deficere」（失敗する、欠ける）から来ている。

「酸素」はギリシャ語の「oxygene」から変化し、現代英語の「oxygen」になった。「不足」はラテン語の「deficere」から古フランス語の「deficient」を経て、現代英語の「deficient」になった。

当初、「酸素」は生命に必要な空気の成分を指し、「不足」は欠けていることを意味した。これらを組み合わせることで、酸素が不足している状態を表す。